SJT 31065-1994 24型晶片数控抛光机完好要求和检查评定方法
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ID： |
AB7145FDAC864462987C0AC4235D0388 |
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文件大小(MB)： |
0.42 |
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页数： |
4 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,24型晶片数控抛光机,完好要求和检查评定方法,SJ/T 31065-94,主题内容与适用范围,本标准规定了晶片数控研磨、抛光机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于Kayex—Spitfre 360系统（24型）研磨、抛光机,结构类似的其它型号的研,磨、抛光机,亦可参照本标准有关条款执行,2完好要求,2.1 主要技术性能,2.1.1 エ件加工时,不应发生翘曲现象,应能稳定地达到加工面精度要求,无腐蚀塩、麻点、桔,皮状、规则波纹、裂伤、塌边或拉丝等现象,2.1.2 设备的技术性能均应达到规定的精度要求,几何精度完好要求和检测方法,见表1,表1,序号检测项目完好标准检测方法图 示,G1,上下抛光盘,的平面度,WO. 025mm,（只允许中,间凹）,①在抛光盘上假定的a、b、c三,个基准点上,分别放一等高块,将平尺放在a—c等髙量块上,在,b处放一可调量块,使其与平尺,下表面接触,再将平面放在b—d,量块上,在c点放一可调量块,使其与平尺下表面接触分别确,定d、c点的可调量块高度。将平,尺放在图1规定的各个位置上,用量块测量平尺与工作台面间,的距离,误差以平面上各点对基准面,向坐标值的最大代数差值计。局,部误差以任意局部测量长度上,相邻两端点对基准面间坐标值,的最大代数值计,②上抛光盘移动至平尺合面,用塞尺检测,误差以塞尺最大值,计,出,图1,1 1コ,图2,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准,一 1 —,1994-06-01 实施,SJ/T 31065-94,续表1,序号检测项目完好标准检测方法图 示,G2,抛光盘的端,面跳动,く 〇. 05mm,固定指示器,使其测头触及抛,光盘边缘处,旋转抛光盘进行检,测（上、下分别进行）,误差以指示器读数的最大差,值计.,L 1,Q_______________,1 1,G3,抛光盘的径,向跳动,く〇. 05mm,固定指示器,使其测头触及抛,光盘外圆面上,旋转抛光盘检,测,上、下盘分别检测,误差以指示器读数的最大差,值升,G4,上下抛光盘,之间的平行,度,く 0. 06mm,在下抛光盘上放一指示器,使,其测头触及上抛光盘下平面上,当上抛光盘在距离最大行程,上限向下1/3位置时,按三角形,在最大.实际检测长度内进行检,测,误差按指示器移动时的最大,读数差值计,ア,上个,「,丿,2.2 操作系统,2.2.1 各操作手柄、开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2.2 上抛光盘升降制动限位装置齐全,灵敏、可靠,2.3 传动系统,2.3.1 直流电机调速正常可靠,运转均匀,噪声响度不大于7OdB,2.3.2 上下抛光盘及载盘转动均匀平稳,无跳动及摆动不良现象,确保抛光エ件的精度及均,匀性,2.4 润滑系统,2.4.1 下抛光盘的传动变速箱及上下盘的轴承转动、载盘转动等润滑部位润滑装置完整无,损,管路齐全,接头牢固无泄漏,油路畅通,2.4.2 油位标志醒目,油窗明亮,油位清晰,润滑良好,2.5 压缩空气,2.5.1 上抛光盘升降是由气缸气动机构驱动,各接头应牢固,气动元件良好无缺无损。.,2.5.2 压缩空气是采用集中供气的管道气（是经过水、油、尘埃净化过滤的）,干燥纯净压缩空,气气压为0.57MPa,最大用气量3MVS。气压、气量、气质均应符合设备所需要求,压カ、流量、,均由气压表和流量计调节计量,2,SJ/T 31065-94,2.5.3 如配备专用空气压缩机时,所选用的空气压缩机的技术参数应符合主设备的要求,否,则应配备干燥过滤装置,但其主要技术指标（气压、气量、气质等）应符合所需要求。空气压缩机,的完好要求参照SJ/T 31405-94或SJ/T 31406-94执行,Z6冷却及抛光液供给系统,2.6.1 上下抛光盘冷却用去离子水循环冷却,水温不超过4c（采用冷凝剂降温）,防止加工,过程中温度过高对エ件以及抛光盘等热变形。压カ、流量、水质均应符合设备所需要求,2.6.2 抛光液应按加工件要求配制,储存在筒内,经过过滤由一小电动泵抽出液体,注入加工,件作抛光之用,压カ、流量应根据加工件所需要求提供,2.6.3 抛光液是一次性使用,不回收,排放是用. 76Am接口管道排放,排除的废液必须采取,环保措施,2.7电气系统,2. 7.1电气柜进电电源为236V,60Hz。三项交流电30A连续电源,电压必须在214.246V,之间.,2.7.2 线路完整,执行元件性能正常,运行可靠,2.7.3 线路绝缘层无老化破裂,无漏电现象,保护装置齐全、有效,2.8 数控系统,2.8.1 主控单元、元器件性能可靠,运算正确控制软件功能齐全,自检程序运行正常,2.8.2 位置控制单元,速度控制单元,连接单元的元器件性能可靠,定位准确,运行平稳,各控,制信号和控制回路畅通,2.8.3 手动数据输入和显示功能齐全、有效,2.8.4 伺服电机运行平稳、噪音、温升符合电机出厂指标,工作可靠,2.8.5 手摇脉冲发生器动作灵敏,到位准确,2.8.6 程序输入/输出装置保持清洁,输入/输出程序正确无误,2.8.7 控制柜内部清洁,布线整齐、线路无老化,各线路标志明显,2.9 微机控制系统,2.9.1 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠。控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清洁、可靠,2.9.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.9.3 输入/输岀程序正确无误,2.9.4 打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.9.5 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化……
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